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　　低温冷却液真空泵是一种常用的真空泵，它的主要特点是采用低温冷却液来冷却泵体，从而达到更高的真空度和更好的泵速。下面我们来详细了解一下低温冷却液真空泵的技术参数。
　　低温冷却液真空泵的真空度通常在10^-3~10-4 Pa之间，这是由于低温冷却液的冷却效果可以有效地减少泵体内部的气体分子的热运动，从而使得泵体内部的气体分子更容易被抽出。
　　低温冷却液真空泵的泵速通常在10~100 L/s之间，这是由于低温冷却液的冷却效果可以有效地提高泵体内部的气体分子的速度，从而使得泵体内部的气体分子更容易被抽出。
　　低温冷却液真空泵的冷却液温度通常在-20C~0C之间，这是由于低温冷却液的冷却效果可以有效地降低泵体内部的温度，从而使得泵体内部的气体分子更容易被抽出。
　　低温冷却液真空泵的功率通常在1~10 kw之间，这是由于低温冷却液的冷却效果需要消耗一定的能量，从而使得泵体内部的气体分子更容易被抽出。
　　低温冷却液真空泵的技术参数包括最高真空度、泵速、冷却液温度和功率等方面，这些参数的优化可以有效地提高低温冷却液真空泵的性能和使用效果。