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　　1、溶解度降低。水垢由于负溶解度温度系数的盐性物质在真空泵循环水水温的增高溶解度降低，析出沉淀而生成。
　　2、真空泵中含有硬度成分的循环水进入，并且水环由于泵体的旋转做工发热，水垢由溶剂在水中的重碳酸盐分解出难溶于水的沉淀而生成。
　　3、蒸发和浓缩。水中溶解盐的浓度在循环水不断做功发热的过程中，由于产生蒸发和浓缩，使其浓度增大并且在饱和后析出沉淀而形成水垢。
　　4、相互反应。真空泵在运行过程中会产生较多的盐类，和其他的盐类相互反应并且生成难溶解物质而且沉淀后也可能产生水垢。